8 (812) 320-06-69

Каталог

Назад к каталогу

Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники

Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники ISBN 978-985-08-2875-0
ISBN 978-985-08-2875-0
Авторы: 
Зеленин В. А.
Тип издания: 
Монография
Издательство: 
Минск: Беларуская навука
Год: 
2022
Количество страниц: 
290
Аннотация

Монография посвящена разработке новых многокомпонентных материалов для изделий наноэлектроники. Рассмотрены методы расчета азеотропных и эвтектических составов резистивных сплавов. Установлены механизмы и закономерности рекристаллизации и фазовых превращений, протекающих при термообработке многокомпонентных пленок и многослойных структур, содержащих тугоплавкие и редкоземельные элементы, их влияние на стабильность электрических параметров элементов интегральных микросхем (ИМС). Рассмотрены процессы, протекающие в объеме и на границах раздела многослойных структур при их формировании и при последующих высокоэнергетических воздействиях. Приведены данные по влиянию технологических параметров изготовления на структуру, фазовый состав и стабильность электрофизических свойств элементов ИМС.
Рассчитана на широкий круг научных и инженерно-технических работников, специалистов в области микро- и наноэлектроники, может служить в качестве учебного пособия по теоретическим вопросам конструирования и производства ИМС для студентов и аспирантов вузов.

Библиографическое описание Скопировать библиографическое описание

Зеленин В. А. Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники / В.А. Зеленин. - Минск : Беларуская навука, 2022. - 290 с. - ISBN 978-985-08-2875-0. - URL: http://secure.ibooks.ru/bookshelf/390085/reading (дата обращения: 25.07.2025). - Текст: электронный.